统计数据分析方法与技术_统计数据分析方法与技术

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统计数据分析方法五种基于晶圆测试的相关性分析方法及装置，涉及集成电路制造技术领域，用以提高相关性分析的可靠性。本申请中，获取M个晶圆中每个晶圆上失效的第一被测对象的测试项目的统计值；获取M个晶圆的WAT测试数据，所述WAT测试数据包括所述M个晶圆中任意一个晶圆上第一区域的第一WAT还有呢？